真空等离子体处理系统
| 产品介绍 |
等离子体表面处理系统是通过系统产生等离子体，利用等离子体中的电子、离子和活性基团的作用，改变材料表层的物理和化学结构，达到材料表面清洗、刻蚀、接枝、涂覆等目的，从而实现材料表面的功能化。根据应用场景和实现功能不同，可以提供各种类型的等离子体表面处理系统。真空等离子体表面处理系统，主要包括真空腔体及真空系统，等离子体发生器、等离子体电源及测量与控制系统。 |
| 设备尺寸 |
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| 产品特点 |
智能化、全自动控制系统，操作简便，具有数据记录和分析功能。 可同时存储多组配方，方便工艺调用。 全过程工艺可控，可在线设置、修改、监控各种工艺参数。 性能可靠，良好的互锁、故障报警和实时监控功能。 等离子体均匀好，兼具远程和浸没式等离子体模式，满足广泛应用需求。 |
